規格

◆量測行程(X,Y,Z):300mm*200mm*200mm

◆外觀尺寸:700*700*1800mm(依設計而有所不同)

◆重量:160kg(依設計而有所不同)

◆X、Y解析度: ≧0.01mm

◆Z解析度: ≧0.005mm

◆Z重複度:0.5μm

◆光學尺解析度:0.1μm

◆操作方式:智慧型程式控制 / 簡易操作介面

◆工作台:花崗岩+鋁合金移動平台

◆傳動方式:X、Y、Z線性滑軌+滾珠螺桿

◆電源:110V-220V±10%

◆適用:電子半導體業、製造業、量測膜厚、汽車零組件等相關產業